本發明屬于電子功能陶瓷材料技術領域，涉及氧化鈹陶瓷材料的制備方法。本發明采用BeO原料和助燒劑分別分散并研磨的方式控制原料粒徑，然后采用濕磨方式將二者均勻混合，經烘干，造粒并成型后采用本發明獨特的三段式燒結方式燒結：首先在1000℃到1400℃之間保溫0.5～4小時，然后以3℃～8℃/min的升溫速度升溫到1620℃到1680℃之間，最后快速降溫至1520℃到1580℃之間并保溫2～6小時。本發明所制備的BeO陶瓷晶粒大小可控，一致性和重復性好；采用獨特的三段式燒結方式，使得最終BeO陶瓷結構均勻致密，從而提高了最終BeO陶瓷材料的熱導率和抗折強度。本發明制備的BeO陶瓷材料作為高導熱主體關鍵材料，可用于微波,毫米波,大功率,高組裝密度的電子元器件或組件中起承載導熱功能。